차동 광섬유 변위계
ATOPS는 자신의 광섬유 어레인지하여 측정 물의 반사율 변화의 영향을 제거하고, 초 고해상도 및 고속 응답 성을 실현시킨 차동 광섬유 변위계입니다.
SPM 캔틸레버 변위 측정 압전 소자 응용 제품의 변위 계측 · 나노 인덴 테이션의 변위 계측 하드 디스크 헤드의 진동 해석 등 미소 변위 고속 측정에 적합합니다. 측정 헤드가 작고, 투명체 측정에도 대응 가능합니다.
특징
■ nm의 매우 높은 해상도를 실현
■ 측정 물의 반사율 변화의 영향을 제거
■ 최대 1MHz (옵션)의 고속 응답 성을 실현
■ 투명체 측정에 대응
■ 차동 섬유 방식으로 작동 거리 확대
응용 예
LCD 유리의 변위 측정 :
위치 결정 제어 :
디스크 런 아웃 측정 :
테이프 진동 측정 :
회전 진동 진동 모드 측정 :
다양한 장치에 임베디드 측정 :
PZT 등의 진동 측정 :
측정 원리
측정 프로브는 중심에 배치 된 투광 섬유 (Illum natingFiber) 그 주위를 둘러싸 수광 섬유 A (Receiving FiberA), 한층 더 그 주위를 둘러싸 수광 섬유 B (Receiving FiberB)과 때문입니다.
투광 섬유는 레이저 다이오드에서 평행 광선 입사각으로 입사됩니다. 투광 섬유에 입사 한 빛은 광섬유 내에서 전반사를 반복하면서 측정 끝에 도달 목표를 향해 조사됩니다. 대상에서 반사 된 빛은 측정 프로브에 빛 고리가되어, 수광 섬유 A와 B에 입사합니다.
그림 1에서 알 수 있듯이 빛 고리의 지름은 프로브 단면에서 대상까지의 거리 g에 비례하여 변화합니다. 이 지름의 변화를 수광 섬유 A와 B에 입사하는 광량 PA, PB의 차이로 인식합니다.
그림 2 g에 대한 PA, PB의 변화를 모식 적으로 보여줍니다. PA는 좁은 간격에서 일어나 한편 PB는 일정한 간격을 둔 후 상승합니다. 그림 중 PB-PA의 WR로 나타낸 부분이 변위 측정에 사용할 수있는 부분입니다. WR 영역에서는 PB + PA는 거의 변화하지 않습니다.
PB-PA도 PB + PA도 대상의 반사율에 비례하지만, (PB-PA) / (PB + PA)는 대상의 반사율에 의존하지 않는 값입니다. ATOPS에서는 고정밀 아날로그 디바이더를 이용하여 대상의 반사율의 영향을 제거하고 있습니다.
투명체를 작업 할 경우의 광로를 오른쪽 그림과 같습니다. 뒷면에서 반사 된 빛이 XB 외부이면 뒷면의 간섭은받지 않습니다. 레이저 고강도 빛과 함께, 유리 등 투명체의 표면도 정밀하게 검출하는 것이 가능합니다.
사양
■ 앰프 유닛
| 형식 |
ATW-01 |
| 방식 |
직류 증폭 유형 |
응답 성 (Hz) :
설정 주파수 응답 |
100,1K, 10K, 100K (1M 옵션) |
| 가변 배율 |
1 배, 2 배, 5 배, 10 배, 20 배, 50 배 |
| 표시 |
4 디지트 디지털 전압 표시 |
| 아날로그 출력 |
± 10VDC |
| 전원 전압 |
AC 100V 50 / 60Hz |
| 사용 환경 |
0 ~ 45 ℃ 20 ~ 85 % RH (비 응축) |
■ 플러그인 모듈
| 모듈 NO. |
ATP-A20 |
ATP-B20 |
ATP-C20 |
ATP-C05 |
| 광원 |
SLD (슈퍼 루미 네 성급 세인트 다이오드) (λ = 840nm) |
| 섬유 길이 |
1m |
| 첨단 프로브 외경 (mmφ) |
1.2 |
1.5 |
프로브 팁
사용 온도 |
0 ~ 150 ℃ (고온 사양 옵션 : 320 ℃) |
| 측정 스포트 지름 (mmφ) |
0.1 |
0.4 |
0.9 |
0.9 |
| 측정 범위 (μm) |
20 |
50 |
120 |
280 |
| 작동 거리 (μm) |
80 |
220 |
350 |
900 |
| 기본 감도 (μm / V) |
2 |
5 |
12 |
28 |
■ 감도 표 (nm / mV)
| 배율 |
ATP-A20 |
ATP-B20 |
ATP-C20 |
ATP-C05 |
| × 1 |
2 |
5 |
12 |
28 |
| × 2 |
1 |
2.5 |
6 |
14 |
| × 5 |
0.4 |
1 |
2.4 |
5.6 |
| × 10 |
0.2 |
0.5 |
1.2 |
2.8 |
| × 20 |
0.1 |
0.25 |
0.6 |
1.4 |
| × 50 |
0.04 |
0.1 |
0.24 |
0.56 |
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