제품 개요

5kHz 고속 응답

PS-IA의 사용 용이성은 그대로, 응답 속도가 5배가 되었습니다.
종래, 측정이 어려웠던 고속의 변위 현상의 측정을 가능하게 합니다.
회전 물체의 흔들림 측정이나 피에조 스테이지의 클로즈 루프 제어에 최적입니다.

■주요 용도

• 회전 물체의 흔들림 측정(고속 스핀들, 주축, 하드 디스크 등…)
• 체결, 압입시의 변위·진동 해석
• 압전 스테이지의 폐쇄 루프 제어
• 고속·정밀 스테이지의 정밀 위치 결정에!
• 투명 전극의 표면 검출에!

특징

DC 24V 또는 AC 100V에서 동작하며 출력 제로 리셋 기능, NEAR/FAR LED 표시기, BNC 아날로그 출력이 붙은 싱글 채널 앰프입니다. 컴팩트하면서 다기능 시스템이며, 연구 개발 용도에서 각종 장치로의 통합 등 다양한 용도로 사용할 수 있습니다.

• 측정 대상물 마다의 캘리브레이션은 불필요! (측정 대상물이 도체이면 감도는 변하지 않습니다)
• 표면 거칠기의 영향을받지 않습니다. 고속으로 움직이는 물체의 변위도 고정밀도로 측정
• 측정 대상물이 얇아도 도전체이면 측정 가능
• 측정 영역은 프로브의 직경 이하이므로 위치 분해능이 높은 측정이 가능
• 자기나 전자기 유도의 영향을 받지 않음
• 표준 측정 범위 30 ~ 5000 μm의 광범위한 라인업
• 높은 직선성：±0.05％ 이하

특주 프로브 대응 예

위는 예입니다. 용도에 따른 특주 대응합니다.

측정 원리

PS 센서는 아래 그림과 같이 평행 평판 커패시터의 원리를 기반으로 합니다. 중심 전극과 타겟 사이의 정전 용량을 C, 프로브와 타겟 사이의 유도율을 ε, 거리를 g, 중심 전극 면적을 A로 하면 그 관계는

의 계산식으로 나타낼 수 있습니다. 이것을 아래 그림과 같은 교류 정전류원 구동을 행함으로써, 출력 전압은

그리고 출력은 측정 갭에 비례합니다.

PS 센서에서는, 가드 전극을 중심 전극과 동 전위가 되도록 구동하는 것으로, 중심 전극 부분에서 평행 전장을 만들어, 높은 직선성을 얻고 있습니다.