■측정
고분해능과 고속 응답을 실현
측정 범위:0 ~ 500 μm
변위 분해능:10 nm (rms
)
■표시(5.7인치 TFT 액정 디스플레이)
각 채널이나 연산 결과의 파형 묘화, 리사주 곡선 묘화 등 다채로운 표시 모드를 선택 가능

■기록
최신 100회분의 파형을 내부 메모리에 자동 보존해, 이력 화면에서 바로 확인할 수 있다.
측정 데이터는 SD 카드에 CSV 형식으로 기록.
■ 분석
FFT 해석을 비롯한 다양한 채널 간의 가산·감산·리사주 측정에 의한 합격 여부 판정, 필터 등의 신호 처리 기능
리사쥬 측정에는 편심 보정 기능 있음
<연산> 가산
, 감산, 두께 측정, 갭 측정, 리사쥬 측정
<판정>
각 채널이나 연산값에 대해 상한·하한 판정
리사쥬 측정에 있어서의 원이나 띠의 영역 판정
<필터> 저역 통과 필터
나 밴드 엘리미네이트 필터에 의해 불필요한 신호 성분을 제거할 수 있다
<시간축 파형>
프로브로부터의 신호를 A/D 변환하여 시간축의 변화를 파형으로 확인할 수 있다
<FFT 해석>
시간축 파형 중에 각 주파수 성분이 어느 정도의 강도로 포함되어 있는지를 확인할 수 있다
