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ATOPS차동 광섬유 변위계
차동 광섬유 변위계ATOPS는 자신의 광섬유 어레인지하여 측정 물의 반사율 변화의 영향을 제거하고, 초 고해상도 및 고속 응답 성을 실현시킨 차동 광섬유 변위계입니다.
SPM 캔틸레버 변위 측정 압전 소자 응용 제품의 변위 계측 · 나노 인덴 테이션의 변위 계측 하드 디스크 헤드의 진동 해석 등 미소 변위 고속 측정에 적합합니다. 측정 헤드가 작고, 투명체 측정에도 대응 가능합니다.
 특징■ nm의 매우 높은 해상도를 실현
■ 측정 물의 반사율 변화의 영향을 제거 ■ 최대 1MHz (옵션)의 고속 응답 성을 실현 ■ 투명체 측정에 대응 ■ 차동 섬유 방식으로 작동 거리 확대 응용 예
LCD 유리의 변위 측정 :
 위치 결정 제어 :
 디스크 런 아웃 측정 :
 테이프 진동 측정 :
 회전 진동 진동 모드 측정 :
 다양한 장치에 임베디드 측정 :
 PZT 등의 진동 측정 :
 
측정 원리 측정 프로브는 중심에 배치 된 투광 섬유 (Illum natingFiber) 그 주위를 둘러싸 수광 섬유 A (Receiving FiberA), 한층 더 그 주위를 둘러싸 수광 섬유 B (Receiving FiberB)과 때문입니다. 투광 섬유는 레이저 다이오드에서 평행 광선 입사각으로 입사됩니다. 투광 섬유에 입사 한 빛은 광섬유 내에서 전반사를 반복하면서 측정 끝에 도달 목표를 향해 조사됩니다. 대상에서 반사 된 빛은 측정 프로브에 빛 고리가되어, 수광 섬유 A와 B에 입사합니다.
 그림 1에서 알 수 있듯이 빛 고리의 지름은 프로브 단면에서 대상까지의 거리 g에 비례하여 변화합니다. 이 지름의 변화를 수광 섬유 A와 B에 입사하는 광량 PA, PB의 차이로 인식합니다. 그림 2 g에 대한 PA, PB의 변화를 모식 적으로 보여줍니다. PA는 좁은 간격에서 일어나 한편 PB는 일정한 간격을 둔 후 상승합니다. 그림 중 PB-PA의 WR로 나타낸 부분이 변위 측정에 사용할 수있는 부분입니다. WR 영역에서는 PB + PA는 거의 변화하지 않습니다. PB-PA도 PB + PA도 대상의 반사율에 비례하지만, (PB-PA) / (PB + PA)는 대상의 반사율에 의존하지 않는 값입니다. ATOPS에서는 고정밀 아날로그 디바이더를 이용하여 대상의 반사율의 영향을 제거하고 있습니다.
투명체를 작업 할 경우의 광로를 오른쪽 그림과 같습니다. 뒷면에서 반사 된 빛이 XB 외부이면 뒷면의 간섭은받지 않습니다. 레이저 고강도 빛과 함께, 유리 등 투명체의 표면도 정밀하게 검출하는 것이 가능합니다.
사양■ 앰프 유닛
■ 플러그인 모듈
■ 감도 표 (nm / mV)
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