PS 센서는 자체 기술에 의한 정전 용량 방식을 채용하여 높은 안정성 · 고분해능 · 범용성을 실현 한 초정밀 비접촉 변위계입니다. 변위 · 진동 · 형상 · 위치 검출 등 폭 넓은 분야에 이용되어 가격 대비 성능을 추구 한 범용성 변위계로 높은 평가를 얻고 있습니다.
또한 지구 환경의 영향을 고려하여 어느 제품도 무연 RoHS 지령에 대응하고 있습니다.
PS-Ⅲ 시리즈는 여러 채널을 하나의 케이스에 정리해 AC100V에서 동작하고 다양한 기능을 담은 PS 센서 시리즈의 결정판입니다. 연구 개발 용도뿐만 아니라 시스템에 임베디드 수 있습니다.
측정 원리
PS 센서는 오른쪽 그림과 같이 평행 평판 콘덴서의 원리에 근거하고 있습니다. 중심 전극과 대상 사이의 정전 용량을 C 프로브와 대상 사이의 유도 율을 ε 거리를 g 중심 전극 면적을 A라고하면 그 관계는 계산식으로 나타낼 수 있습니다. 이것을 오른쪽 그림과 같이 교류 정전류 소스 구동함으로써 출력 전압은 옆집 출력은 측정 간격에 비례합니다. PS 센서는 가드 전극을 중심 전극과 동일한 전위가되도록 드라이브함으로써 중심 전극 부분에서 평행 전기장을 만들고, 높은 선형성을 얻고 있습니다.
응용 프로그램
사양
원터치로 출력을 제로로 리셋 기능, NEAR / FAR LED 표시기 멀티 채널 동작 기능 등 이것 한대로 다양한 용도로 응용이 가능합니다.
| 앰프 사양 |
| 모델 |
PS-Ⅲ |
| 기본 출력 전압 범위 |
0 ~ 10V |
| 출력 단자 |
BNC 커넥터 |
| 주파수 특성 |
DC ~ 1kHz |
| 사용 온도 범위 |
10 ~ 40 ℃ |
| 전원 |
AC100V (AC 어댑터 사용) |
표중의 □□에는 머리 길이 (mm)가 들어갑니다.
| 모델 |
외경 (mm) |
오프셋 (μm) |
레인지 (μm) |
분해능 (nmrms) |
선형성 (%) |
프로브 길이 |
케이블 길이 |
| AX □□ -30 |
4 |
10 |
30 |
0.6 |
± 0.05 |
5mm
10mm
30mm |
표준 2m |
| AX □□ -50 |
10 |
50 |
1.0 |
| AX □□ -100 |
10 |
100 |
2.0 |
| AY □□ -50 |
6 |
10 |
50 |
1.0 |
| AY □□ -100 |
10 |
100 |
2.0 |
| AY □□ -250 |
25 |
250 |
5.0 |
| AY □□ -500 |
50 |
500 |
10 |
± 0.1 |
| AZ □□ -500 |
12 |
50 |
500 |
10 |
± 0.05 |
10mm
30mm |
| AZ □□ -1000 |
100 |
1000 |
20 |
± 0.1 |
| 외형 치수 |
| 모델 |
PS-Ⅲ-3N |
PS-Ⅲ-2D |
PS-Ⅲ-5N |
PS-Ⅲ-4D |
| 출력 단자 |
BNC × 3 |
BNC × 2 |
BNC × 5 |
BNC × 4 |
| 치수 (mm) |
186W × 152H × 331D |
257W × 152H × 271D |
| 지시계 |
없음 |
있다 |
없음 |
있다 |
| PS-Ⅲ의 형식은 다음과 같이 결정합니다. |
| 앰프 형식 |
|
채널 수 |
지시자의 유무 |
| PS-Ⅲ |
|
2 이상 |
지시계 있음 ... D |
| 지시계 없이 ... N |
| 4 채널 지시계가있는 경우 |
|
| PS-Ⅲ |
- |
4 |
D |
